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House of Plasma

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Ruhr-Universität Bochum Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Informationstechnik (Prof. Dr.-Ing. Peter Awakowicz) Gebäude ID Raum 1/253
Universitätsstraße 150
44801 Bochum, Deutschland

Contact details

Phone+49 (0) 234 – 32 25525
Emailinfo@house-of-plasma.com
URLhttps://house-of-plasma.com/

House of Plasma – Advanced Plasma Sensors

ERFAHRUNG – GESCHICHTE DER MRP Die Multipolresonanzsonde wurde an der Ruhr-Universität Bochum entwickelt. Mehr als 10 Dissertationen und über 30 Publikationen belegen die Erfahrungen mit der MRP in Bochum. Im Rahmen von zwei durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung geförderten Projekten wurde der Proof of Principle und der erfolgreiche Einsatz in industriellen Produktionsprozessen demonstriert. Es konnten auch Regelsysteme aufgebaut werden, z.B. beim reaktiven Sputtern zur Prozessstabilisierung in einem Arbeitsbereich mit hohen Abscheideraten und hochqualitativen Schichten.

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Dr. Moritz Oberberg bereitet mit seinen zwei Teamkollegen die Gründung des Spin-Offs „House of Plasma“ vor. Das Unternehmen bringt die Multipolresonanzsonde in verschiedenen Designs auf den Markt. Sie erlaubt es, industrielle Plasmen in Echtzeit zu überwachen und so dafür zu sorgen, dass sie zum Beispiel immer gleiche, fehlerfreie Beschichtungen auf Oberflächen aufbringen helfen.Herr Oberberg, wenn Ihnen vor fünf Jahren jemand gesagt hätte, dass Sie heute ein Unternehmen gründen möchten, was hätten Sie dann gesagt? Die Idee, mit der Messtechnik ein Spin-Off zu gründen, ist gar nicht so neu. Bei meinem Vorgänger, der allerdings schon 2015 seine Promotion abgeschlossen hat, war das schon einmal ein Thema, aber da war das Ganze noch nicht ausgereift. Ich persönlich konnte mir schon immer...
Auf Basis aktiver Plasmaresonanzspektroskopie misst die Multipolresonanzsonde die Elektronendichte in Niederdruckplasmen, die beispielsweise für Ätz- und Beschichtungsprozesse genutzt werden. Klare Sache, oder? „Anfangs musste ich auch häufiger nachfragen“, erinnert sich Maria Schnober lachend. Die 27-jährige ist eine von drei Gründern des angehenden Start-ups House of Plasma. Kompliziert klingende Begriffe kennt sie aus ihrem Management-Studium an der Ruhr-Universität Bochum. „Ich habe schon als Studentin mit dem Gedanken gespielt, Teil einer (Unternehms)Gründung zu sein. Dass es am Ende so technisch wird, hätte ich natürlich nicht gedacht. Meine Schwerpunkte waren Marketing und Vertrieb.“ Lange musste Maria Schnober aber nicht überlegen: „Das Team und die Idee von House of...

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