Addressdaten
Ruhr-Universität Bochum Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Informationstechnik (Prof. Dr.-Ing. Peter Awakowicz) Gebäude ID Raum 1/253 |
Universitätsstraße 150 |
44801 Bochum, Deutschland |
Kontaktdaten
Telefon | +49 (0) 234 – 32 25525 |
info@house-of-plasma.com | |
URL | https://house-of-plasma.com/ |
House of Plasma – Advanced Plasma Sensors
ERFAHRUNG – GESCHICHTE DER MRP Die Multipolresonanzsonde wurde an der Ruhr-Universität Bochum entwickelt. Mehr als 10 Dissertationen und über 30 Publikationen belegen die Erfahrungen mit der MRP in Bochum. Im Rahmen von zwei durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung geförderten Projekten wurde der Proof of Principle und der erfolgreiche Einsatz in industriellen Produktionsprozessen demonstriert. Es konnten auch Regelsysteme aufgebaut werden, z.B. beim reaktiven Sputtern zur Prozessstabilisierung in einem Arbeitsbereich mit hohen Abscheideraten und hochqualitativen Schichten.
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