Funktionale Nanostrukturen in smarten  Mikrosystemen                                                                        Mikrosysteme nutzen heute in großem Umfang  Nanostrukturen, um Sprünge in der Leistungsfähigkeit  oder gänzlich neuartige Funktionen zu erreichen. Viele  innovative Ideen aus der universitären Forschung haben  Eingang in die industrielle Umsetzung gefunden. Dies  sollte Motivation sein, auch weiterhin Ideen für funktionale  Nanostrukturen in Mikrosystemen zu erforschen und in  Anwendungen zu evaluieren. Der Workshop bietet die  ideale Gelegenheit, Ideen und Konzepte vorzustellen und  zu diskutieren. Bewusst präsentieren diesmal eingeladene  Vorträge Beispiele, die den Weg von der Forschung in die  Umsetzung gefunden haben oder auf dem Weg sind.  Der Call for Papers richtet sich an Forscher und  Anwender, Anlagenhersteller und Prozessanbieter aus  Wirtschaft und Wissenschaft, die Mikro-Nano-Integration  nutzen.  Für Unternehmen bietet der Workshop eine exzellente  Gelegenheit, mit zukünftigen Kooperationspartnern in  Kontakt zu treten. Der Workshop bietet ausreichend  Zeit für die Diskussion, zu der Sie mit Ihrem Beitrag und  Know-how beitragen können. Wir laden Sie herzlich ein  und freuen uns auf Ihren Beitrag!                                                                                                                                                    Prof. Martin Hoffmann                                                                                                                                Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik,                                                                                                            Ruhr-Universität Bochum

Themenschwerpunkte

■ Mikro-Nano-Integration - vom Material zum Produkt                                                                                    ■ Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik                                                                                                ■ Neuartige Materialsysteme für Nanostrukturen                                                                                            ■ Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Diagnostik                                                                                                                                            ■ Quantensensing, Quanteninformation                                                                                                          ■ Chemische und physikalische Funktionalisierung                                                                                        ■ ALD- und ALE-Verfahren der nächsten Generation                                                                                      ■ Grenzflächen- und Skalierungseffekte                                                                                                          ■ 1D- und 2D-Elektronik- und Sensorsysteme                                                                                                ■ Monolithische Integration von Nanostrukturen in  MEMS und Mikroelektronik                                              ■ Pre-/Above-/Post-CMOS- bzw. MEMS-Prozesse                                                                                          ■ Selbstorganisation von Nanostrukturen                                                                                                        ■ Heterogene Systemintegration                                                                                                                      ■ Nanostrukturen auf neuartigen z.B. flexiblen Substraten                                                                              ■ Optische und elektrische Interconnects                                                                                                        ■ Reaktive Nanoschichten und Material-Verbundsysteme                                                                              ■ Charakterisierung und Qualitätssicherung von  integrierten Nanostrukturen                                              ■ Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen 

Call for Papers
Die Autoren stellen ihre Arbeiten zunächst in  Kurzpräsentationen (ca. 5 min je Poster) vor. Daran  schließt sich eine Diskussionszeit an den Postern an. Bitte reichen Sie bis zum 17. Juni 2022 eine  aussagekräftige einseitige Kurzfassung (inkl. Bilder, Schrift  12 pt) als PDF-Datei ein. Diese sollte enthalten: Titel,  Name(n) und Anschrift(en) des/der Verfasser, kompakte  Darstellung der Forschungsarbeiten zur MNI. Reichen  Sie Ihren Beitrag bitte unter gmm@vde.com per Email ein.

Kontakt und Organisation
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystemund Feinwerktechnik (GMM) Dr. Ronald Schnabel Merianstraße 28, 63069 Offenbach/Main Tel.: +49 (0)69 / 63 08 - 227 E-Mail: gmm@vde.com www.vde.com/gmm

Wichtige Daten
17.06.2022..........Frist zur Einreichung der Beiträge                                                                        11.07.2022 .........Benachrichtigung der Autoren                                                                              07.10.2022 .........Einreichung Papers